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光刻胶的分类
来源：本站 作者：匿名 发布：2014/8/20 修改：2014/8/20
隶属：LCD技术资料 点击：2044
光刻胶是光刻工艺的主要材料，光刻胶种类很多，目前国内外的光刻胶品种已达40多种。根据光刻胶曝光前后溶解度特性的变化，可将光刻胶分为正性胶和负性胶两大类。如下图：
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入射光
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掩模板
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负性胶
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TIO膜
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玻璃基板
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负性胶
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TIO膜
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玻璃基板
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入射光
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掩模板
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负性胶
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TIO膜
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玻璃基板
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负性胶
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TIO膜
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玻璃基板
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(1)负性胶
这种胶在曝光前对某些有机溶剂(丙酮、丁酮、环已酮等)是可溶性的，曝光后发生光聚合反应，不溶于有机溶剂。当用它进行光刻时，在衬底表面将得到与光刻胶掩模版遮光图案完合相反的图形，故称之为负性胶。目胶，它主要由聚肉桂酸脂类、聚脂类和聚烃类(环化橡胶)等组成。
(2)正性胶
这种胶在曝光前对某此溶剂是不可溶的，而曝光后却变成了可溶的。使用这种胶光刻时，能得到与光刻掩模版遮光图案相同的图形，故称为正性胶。正性胶目胶主要由邻迭氮醌型化合物(感旋旋光性)、苯骈三氮唑(增感剂)和已二醇单已醚酸丁脂(溶剂)组成。
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